Detection range                   1000*700*500 mm
Repeatability                       0.001 mm

Detection range                        400 * 300 * 200mm 

Detection accuracy                   0.001 mm

Resolution                      <180ev

Detector                         High performance and high resolution Si Pin x detector

Test force                          1471N
Measuring range               20~88
The margin of error is       ±1.5

Measuring length                            1000mm
Parallel direction accuracy              ≤ 10μm
Vertical accuracy                             ≤8μm

Measuring range                 0.005~16μm
Resolution                           0.001μm
Indication error                    ≤±10%

Error                            ±4μm
Resolution                 0.01mm